垂直式真空等离子清洗机PS-2644系统主要包括四个部分：真空泵系统、RF电源系统、工艺气体流量控制系统、软件控制系统。应用于PCB、HDI\FPC孔内除胶渣、碳化物清洗、载板超细线路干膜、油墨显影后去残膜、ABF整面蚀刻减薄。

采用“真空泵系统+RF电源系统+工艺气体流量控制系统+软件控制系统”四合一设计，集成16片垂直独立冷却电极，配合高频电源，实现孔内除胶渣、ABF蚀刻减薄等复杂工艺的精准调控。

配置温度异常联锁、过载电流保护、真空压力阈值报警、短路断路双预警等12重安全机制，结合真空漏率控制，确保设备稳定运行，杜绝误操作及工艺风险。 

创新垂直电极阵列设计，通过16片独立温控电极实现等离子体密度均匀性≥85%，满足HDI/FPC孔内微盲孔（最小4×4inch）及超细线路（≤5μm）的精密处理需求。

支持混线生产，标配4路气体控制（可选5路），适配O₂/N₂/CF₄/Ar等工艺气体，配合真空泵组，实现1080PNL/21H的高效产能。

电极采用进口CNC数控机床加工，配合三坐标测量仪进行精度管控，结合垂直阵列动态平衡设计，保障等离子体场强均匀性。

搭载鹏硕自主研发HMI人机界面，支持配方存储（≥100组）、工艺参数实时监控及故障自诊断功能，实现从抽真空到等离子处理的全流程自动化控制。