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半导体系列 l PS-137H真空等离子体除胶机

发布时间:2025-03-19 14:49:32

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PS-137H等离子除胶机横版海报

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产品概述

/Product Overview

鹏硕真空等离子除胶机-PS-137H,是一款专为电子元件及材料表面处理设计的精密设备,采用手动上下料与腔体式射频等离子技术,适用于 PI、PCB、FPC、陶瓷等多种基材的表面粗化、清洁及活化处理。


设备通过高频等离子体物理作用,有效去除孔内钻污、有机物残留及氧化层,显著提升材料表面附着力与后续工艺可靠性。


支持水平 / 垂直电极布局选择,配备智能控制系统与高效真空系统,广泛应用于半导体封装、线路板制造、LED 封装等领域。

半导体行业等离子清洗机白底图


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特点优势

/  Features & Advantages


1

智能动态调控系统

采用高频射频电源与智能控制系统,实现等离子体参数(功率、气体流量、真空度)精准调节,确保处理效果一致性。


2

全流程安全防护机制

集成真空泄漏监测、过压保护、报警系统及操作权限管理,保障设备运行安全及人员操作规范。


3

柔性电极布局设计

支持水平 / 垂直电极布局可选,适配多尺寸基材及不规则产品,提升处理灵活性与工艺兼容性。


4

高效真空处理系统

配备大抽速干泵(500m³/h)及动态真空控制技术,实现快速抽气(≤1 分钟至 100mtorr)与稳定真空环境。


5

国际品牌核心部件

严选北方华创 MFC、Inficon 真空计等国际品牌组件,关键部件寿命长,保障设备长期稳定运行。


6

低温环保工艺特性

真空环境下低温等离子处理,避免基材热损伤;标配尾气中和装置,符合环保排放要求。


7

 精密制造工艺支撑

腔体及电极采用精密加工技术,结合全流程质量管控,确保等离子体场强均匀性及处理精度。


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性能参数

/ Performance Parameters

PS-137H真空等离子体除胶机参数

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应用领域

/  Application Areas

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