等离子体相关的故障可以分为不产生等离子体和等离子体密度低。

不产生等离子体的主要问题有以下几种情况:

措施：检查射频源输出信号、射频电缆、匹配网络，对故障点进行维修。

措施：检查各连接处的漏率，对漏率比较大的密封圈进行更换；检查真空泵组。

措施：检查气源压力；检查压力阀；检查真空阀。

等离子体密度低可从射频功率源、气源充足性、质量流量控制器、腔壁是否污染等方面检查。 

RE射频故障是真空等离子清洗机最常见的故障之一。其表现现象一般分为：反射功率大，无输出功率。

反射功率大一般属于匹配问题，一般情况下，若飘移不大，可通过设备的调节开关调整到允许范围内。但下列现象没有办法通过调节开关调到允许范围之内：匹配命令发出之后调整电机不转、电容叶片变形卡住、位置电位器坏，位害电位器轴回紧质螺钉松动，齿轮禁揾等情况只能打开匹西箱进行相应位害的调整及维修。

首先在射频源的输出接上50Ω的假负载，以此判断是射频源问题还是射频源之后的故障。若是接上假负载以后功率指示为零，说明射频源有问题，维修射频源。若接上假负载后功率指示不为零，说明射频源完好，可检查射频线缆是否短路、腔体是否污染等。 

等离子清洗机直空系统的好坏，是影响清洗质量的重要因素之一，对真空系统的保养维护主要从以下几个方面入手:

(1)定时检查真空度，及时更换各个连接处的密封圈。例如刻蚀腔体和预真空室隔离门，由于经常开合。很容易导致密封圈磨损而漏气，应及时更换。

(2)定期保养真空泵组，真空泵组由机械泵和分子泵组成。应经常检查机械泵和分子泵的油面是否在厂家标定的最高允许液面和最低允许液面之间。平时多留意机械泵的抽速，一日机械泵抽速变慢，要及时检查机械泵，否则很容易引起分子泵故障。

熟练掌握真空等离子清洗机的原理与组成构造，掌握影响等离子清洗工艺的各方面因素，可以极大的缩短设备故障后的修复时间。另外，定期对等离子清洗设备进行保养也是保证设备稳定的一个重要手段。

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