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plasma
电子制造 “工艺强援”
鹏硕等离子为大产能精准赋能!
引言
在精密复杂的高端电子制造领域,表面残留的碳灰、残胶、油污等微小缺陷,都可能成为影响产品良率与可靠性的 “隐形杀手”。如何在高频板加工、载板线路制作等关键工序前实现高效表面处理?
鹏硕智能装备 PS-1200L 水平真空等离子清洗机,凭借超大产能的水平式设计、稳定强劲的等离子系统与精准控制能力,成为电子制造产线不可或缺的 “工艺优化专家”。一起来解锁它的核心实力!

它是什么?解决什么问题
产品定位:专为高端电子制造工艺打造的水平真空等离子处理设备
聚焦高频板、载板、贵金属等精密工件的表面清洗、改性与刻蚀需求,是电子制造中提升表面性能的关键工艺装备。
核心任务:为关键工序筑牢 “表面基础”
在高频板特氟龙改性、激光钻孔后处理、载板线路加工、贵金属前处理等核心工序前,对工件进行精准清洗、去残胶、表面活化及刻蚀,优化表面状态。
价值体现:从根源提升工艺可靠性与合格率
清除隐形障碍:强力去除激光钻碳灰、干膜残胶、表面油污等影响连接与粘接的 “工艺隐患”。
激活表面性能:通过改性让特氟龙等难粘材料亲水性提升,增强层压、补强、防焊等工序的接合力,减少分层风险。
稳定工艺输出:精准控制蚀刻速度(0.2-1.0mg/cm²)与均匀性(≥80%),降低孔空洞、线路缺陷等问题,提升成品合格率。
高效批量处理:水平式大腔体设计实现批量稳定加工,相比传统处理方式大幅提升生产效率。
核心优势:大产能、精控制、强适配
PS-1200L 凭什么成为高端电子制造产线的优选?这四大亮点是关键:
超大产能的水平式效率革命
告别小批量等待:采用水平分布的 14 片独立冷却电极,搭配 1120mm1040mm13 层(15*15 平米)超大料盘设计,单批次可高效处理 530*510mm 规格板材 52 张(14 平米)。
灵活适配多规格:支持生产板尺寸 50*50mm 至 1120*1040mm、厚度 0.03-5mm,满足不同工件的批量处理需求,大幅提升整体产能!
稳定强劲的等离子发生系统
高功率稳定输出:搭载 15KW RF 射频电源(40kHz±0.01%),配合优化的腔体结构(890*1320*910mm),产生高密度、高均匀性等离子体,短时间处理即可实现优异清洗与活化效果。
精准气体控制:4 路气体流量控制器(控制精度 ±0.01%),支持 O₂、N₂、CF₄、Ar 等多种工艺气体灵活配置,适配不同材料处理需求。
超稳定真空环境与精准监控
腔体可靠耐用:真空腔体采用高密封性设计,搭配久诤真空泵组,极限真空<4Pa,真空泄漏率<25mTorr,确保真空环境长期稳定。
全流程精准把控:集成专业真空计实时监测腔体真空度,抽真空时间 80-120S、破真空时间 30S 快速响应,保障工艺一致性。
智能自动化与可靠配置保障
操作便捷高效:配备人机界面(HMI)与可编程控制器,实现直观化操作,降低人工干预成本。
稳定部件加持:采用百通射频线、德力西电器元件等优质配件,14 片电极独立冷却系统可精准调控温度(20-90℃),确保设备长期稳定运行。
应用场景:覆盖高端电子制造重要工序
PS-1200L 在电子制造中扮演着至关重要的角色,这些场景必不可少:

鹏硕 PS-1200L 水平真空等离子清洗机,以超大产能的水平式设计、稳定强劲的等离子系统、精准可靠的工艺控制,为高端电子制造产线提供全流程表面优化解决方案。它不仅是提升产品良率的 “工艺强援”,更是推动电子制造智能化升级的可靠伙伴!